微機電系統(tǒng)，指的是尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、微馬達(dá)、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。

　1、確認(rèn)MTS位移傳感器的型號和接口類型，例如USB接口、串口接口等。2、根據(jù)傳感器的接口類型，選擇合適的連接線纜，如USB線、串口線等。3、將連接線纜插入傳感器的接口，確保連接牢固。4、將另一端的連接線纜插入電腦相應(yīng)的接口，如USB接口、串口接口等。5、打開電腦上的相應(yīng)軟件程序，如數(shù)據(jù)采集軟件、測試軟件等，進(jìn)行傳感器的數(shù)據(jù)采集或測試等操作。

　溫度傳感器：1、冷卻水溫度傳感器英文縮寫：THW2、進(jìn)氣溫度傳感器英文縮寫：THA壓力傳感器：1、進(jìn)氣歧管壓力傳感器英文縮寫：CMP2、曲軸轉(zhuǎn)角傳感器英文縮寫：CKP轉(zhuǎn)速傳感器：1、曲軸轉(zhuǎn)速（曲軸位置傳感器）英文縮寫：CKPS2、方向盤轉(zhuǎn)角傳感器英文縮寫：CMP3、吸入空氣流量傳感器英文縮寫：MAF位移方向傳感器：1、節(jié)氣門位流量傳感器英文縮寫：TPS2、凸輪軸位置傳感器英文縮寫：CMPS氣體濃度傳感器：1、氧傳感器英文縮寫：O2S

　傳感器常見功能∶1、反映進(jìn)氣歧管內(nèi)的絕對壓力大小的變化，是向ECU（發(fā)動機電控單元）提供計算噴油持續(xù)時間的基準(zhǔn)信號。2、測量發(fā)動機吸入的空氣量，提供給ECU作為噴油時間的基準(zhǔn)信號。3、測量節(jié)氣門打開的角度，提供給ECU作為斷油、控制燃油/空氣比、點火提前角修正的基準(zhǔn)信號。4、檢測曲軸及發(fā)動機轉(zhuǎn)速，提供給ECU作為確定點火正時及工作順序的基準(zhǔn)信號。5、檢測排氣中的氧濃度，提供給ECU作為控制燃油/空氣比在最佳值（理論值）附近的的基準(zhǔn)信號。6、檢測進(jìn)氣溫度，提供給ECU作為計算空氣密度的依據(jù)。7、檢測冷卻液的溫度，向ECU提供發(fā)動機溫度信息。8、安裝在缸體上專門檢測發(fā)動機的爆燃狀況，提供給ECU根據(jù)信號調(diào)整點火提前角。